ALD（Atomic Layer Deposition）装置は、まるで「分子のミルフィーユ」を作るような繊細な成膜技術です。 CVD（化学気相成長法）が“シャワーのように原料ガスを振りかけて一気に反応させる”のに対し、ALDは“1層ずつ丁寧に原子の膜を重ねる”手法。ガスを順番 ...