株式会社コーワ（本社:愛知県あま市、代表取締役:服部直希）は、クリーンルーム・医療機関に特化した自動清掃ロボット ...

特に注目を集めていたのが、成膜やエッチングなどの半導体製造の前工程において使用される、ウェハ搬送用真空ロボット「SEMISTAR GEKKO VDシリーズ」。 SEMISTARシリーズの特徴としては、同社独自の技術である真空ダイレクトドライブモータ(DDモータ)が採用さ ...