みなさんは何をあらわしているか思い浮かぶでしょうか? sio2とは水晶(二酸化ケイ素)の化学式です。 私は鉱物をながめるのが好きで、 以前時間のあったときは、 水晶やその他の石を光にかざして 午後中そのきらきらをながめていたりもしました。 想像が ...
Siウエハのデバイスで使われる保護膜・絶縁膜は、一般的にはSiO2、SiN、特殊な例ではTaOが使われる。SiO2の成膜方法にはどんな種類があるのか。 SiO2の成膜方法概要 ...
火成岩を構成する主要な鉱物は,SiとOからできたものが多数集まって骨格をつくる。 4つのOが1つのSiをとり囲んだ構造を何というか。 代表的な造岩鉱物については,それぞれの構造の特徴を理解しておくことが重要です。 また,火成岩の分類については ...
SiO2膜の厚さが2nm前後に達し,リーク電流が無視できなくなったためである。 今後はリーク電流を抑制できる高誘電率(high-k)ゲート絶縁膜が欠かせなくなる。 さらに薄膜化を加速するためには金属のメタル・ゲートが必要になる。
名古屋工業大学セラミックス基盤工学研究センターの藤正督センター長・教授の研究グループは、SiO2(シリカ)製のナノ中空粒子を樹脂内に均一に分散させる技術を開発し、窓ガラスなどに貼る断熱フィルムに応用する基盤技術を確立した(図1)。
TI、高電圧アプリケーションの寿命を40年以上延長する絶縁デバイスの新しい製品ラインアップを発表 ・フォトカプラのピン互換性により、シグナルインテグリティを向上し、消費電力を最大80%削減 ・二酸化ケイ素(SiO2)をベースとするTI独自のテクノロジ ...