みなさんは何をあらわしているか思い浮かぶでしょうか？ sio2とは水晶(二酸化ケイ素)の化学式です。 私は鉱物をながめるのが好きで、 以前時間のあったときは、 水晶やその他の石を光にかざして 午後中そのきらきらをながめていたりもしました。 想像が ...

Siウエハのデバイスで使われる保護膜・絶縁膜は、一般的にはSiO2、SiN、特殊な例ではTaOが使われる。SiO2の成膜方法にはどんな種類があるのか。 SiO2の成膜方法概要 ...

SiO2膜の厚さが2nm前後に達し，リーク電流が無視できなくなったためである。 今後はリーク電流を抑制できる高誘電率（high-k）ゲート絶縁膜が欠かせなくなる。 さらに薄膜化を加速するためには金属のメタル・ゲートが必要になる。

火成岩を構成する主要な鉱物は，SiとOからできたものが多数集まって骨格をつくる。 4つのOが1つのSiをとり囲んだ構造を何というか。 代表的な造岩鉱物については，それぞれの構造の特徴を理解しておくことが重要です。 また，火成岩の分類については ...

名古屋工業大学セラミックス基盤工学研究センターの藤正督センター長・教授の研究グループは、SiO2（シリカ）製のナノ中空粒子を樹脂内に均一に分散させる技術を開発し、窓ガラスなどに貼る断熱フィルムに応用する基盤技術を確立した（図1）。

塩基度＝CaO(%) / SiO2(%)とありますが、そもそも塩基度とは何ですか？ 塩基度とはアルカリ性の度合いを示すものではないのですか？上式からは想像がつきません。 また、塩基度が融点や粘度を左右する理由を教えて下さい。 出来るだけ、参考例等をまぜ ...