シリコンウェハ酸化膜上で原子分解能STEM観察に成功 ～ナノ材料の非破壊原子分解能評価のための効果的なアプローチ～ 1.発表者: 丸山 茂夫（東京大学 大学院工学系研究科機械工学専攻 教授） 項 栄（東京大学 大学院工学系研究科機械工学専攻 助教） 安 華 ...

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