針の孔よりも小さいMEMSチップ出典：MEMSIC スマートフォンにMEMS（Micro Electro Mechanical System）センサが大量に使われているという事実が案外知られていない。MEMSとは、シリコンや水晶などの結晶やガラス材料などにエッチングやCVD（化学的気相成長）などの ...
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